Kraftmikroskop mit Erfassung der Auslenkung des Cantilevers durch Laserstrahl
(1. Lichtdetektor, 2. Laser, 3. Piezoanordnung, 4. Cantilever mit AFM-Spitze, 5. Probe)
(nach Offenlegungsschrift DE 19504855A1)
Kraftmikroskop mit Erfassung der Auslenkung des Cantilevers durch Laserstrahl
(1. Lichtdetektor, 2. Laser, 3. Piezoanordnung, 4. Cantilever mit AFM-Spitze, 5. Probe)
(nach Offenlegungsschrift DE 19504855A1)